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      電滲析設備處理制備半導體產(chǎn)生的廢水

      時間:2019-11-15 作者:admin 點擊:555次
      介紹時下正在廣泛應用的一款電滲析設備,其含有一種或多種陽離子離子交換可形成水凝膠的聚合物和一種或多種陰離子離子交換可形成水凝膠的聚合物的混合床離子交換可形成水凝膠的聚合物組合物,其特征在于,相對于每一至少70%中和的陽離子和陰離子可形成水凝膠的聚合物構(gòu)成成分的可比的混合物,該混合床離子交換可形成水凝膠的聚合物組合物具有改進的承壓下吸收性能(PUP),電滲析設備的電解槽,其特征在于,被離子交換膜劃分為容納陽極的陽極室和容納氣體擴散電極的陰極氣體室,在陰極氣體室背板與氣體擴散電極之間壓縮容納有金屬制緩沖材料,以使陰極氣體室下部的反作用力大于陰極氣體室上部的反作用力,銅金屬層化學機械拋光(CMP)整平處理是作為*的半導體制備新技術(shù)的一部分,化學機械拋光(CMP)整平處理制備出微芯片的基片工作表面,當前的技術(shù)不能有效地蝕刻銅,這樣半導體制備設備工具使用拋光步驟制備硅晶片表面,芯片的化學機械拋光整平處理產(chǎn)生副產(chǎn)物“研磨”(拋光)漿廢水,其中含有濃度約為1-100毫克/升的銅離子,微芯片的整平處理的副產(chǎn)物拋光漿廢水還含有濃度約為500-2000毫克/升(500-2000ppm)大小約為0.01-1.0μm的固體粒子,半導體制備設備的傳統(tǒng)廢水處理系統(tǒng)常常以PH中和及用氟化物處理為特點,“管端”處理系統(tǒng)常常不包括用于除去重金屬如銅的設備,一種提供點源處理除去銅的方法和電滲析設備可以解決安裝昂貴的管端銅處理系統(tǒng)的需要。
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