近年來,隨著半導(dǎo)體和集成電路的迅速發(fā)展,人們常提到高純水設(shè)備出水水質(zhì)如何適應(yīng)微電子工業(yè)要求的問題。在各國現(xiàn)有的標(biāo)準(zhǔn)中,大多是由一些半導(dǎo)體廠家和水處理公司提供的,*近幾年也有學(xué)會(huì)頒布的,盡管標(biāo)準(zhǔn)中所列的指標(biāo)大同小異,但仍有差別,有的甚至?xí)_(dá)到一個(gè)數(shù)量級,特別是由水處理公司提供的數(shù)據(jù)往往是從商業(yè)需要出發(fā),可謂品類繁多。為了避免使用上的盲目性,建立符合我國國情的高純水標(biāo)準(zhǔn),乃是當(dāng)務(wù)之急。