高純水——在電子工業(yè)中常定標為18兆歐——早已成為制作集成電路及類似的單片器件的主要材料之一。現(xiàn)在,幾何尺寸變得更小的更高水平集成要求更嚴格控制工藝水中的微粒物質。為了*經濟地生產這種高純水,每一個特殊的應用需要一個適當?shù)南到y(tǒng)設計,該設計不但考慮到源水正常下的水質,而且還注意到它的暫時性的變化。